NSR-SF155とは
NSR-SF155 は、ニコンの i 線ステッパーです。水銀ランプの i 線（365nm）を光源とし、開口数 0.62 で解像度 280nm 以下を実現しています。
スループットは毎時 200 枚以上、重ね合わせ精度は 25nm 以下です。i 線露光は先端ノードのクリティカル層ではなく、パワーデバイス、アナログ、MEMS、センサーなどや、先端デバイスでも寸法要求の緩い層で広く使われています。
ニコンの i 線ステッパーには、解像度 350nm 以下・NA 0.45 の NSR-2205iL1 もあります。同社は ArF 液浸スキャナー（NSR-S636E など）から KrF スキャナー、i 線ステッパーまで前工程向けの露光装置をそろえています。
主な特長
- •i 線（365nm）、NA 0.62、解像度 280nm 以下
- •毎時 200 枚以上のスループット
- •重ね合わせ精度 25nm 以下
主な仕様
| 光源 | i 線（365 nm） |
|---|---|
| 開口数（NA） | 0.62 |
| 解像度 | 280 nm 以下 |
| スループット | 200 枚／時 以上 |
| 重ね合わせ精度 | 25 nm 以下 |
| 関連機種 | NSR-2205iL1（解像度 350 nm 以下） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ニコン（Nikon）NSR-SF155 | キヤノン（Canon）FPA-5550iZ2 |
|---|---|---|
| 光源 | i 線（365 nm） | i 線（365 nm） |
| 開口数（NA） | 0.62 | 0.57 ～ 0.45（自動可変） |
| 解像度 | 280 nm 以下 | 350 nm 以下 |
| 重ね合わせ精度 | 25 nm 以下 | SMO 18 nm 以下・MMO 25 nm 以下（オプション） |
| 関連機種 | NSR-2205iL1（解像度 350 nm 以下） | FPA-5550iZ（前機種、スループット約 20% 向上） |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| スループット | 200 枚／時 以上 | — |
|---|---|---|
| 対応ウェハ径 | — | 200／300 mm（選択） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •パワーデバイス・アナログ・MEMS の露光
- •先端デバイスのノンクリティカル層
掲載カテゴリ
NSR-SF155は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ニコン（Nikon）
DUVスキャナーおよびi線ステッパーの主要メーカー。高解像度光学技術とウェーハステージ技術に強みを持ち、成熟プロセス向けや再生装置市場で存在感を発揮。
i線ステッパーのほかの製品
ニコン（Nikon）のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06