FPA-5550iX 是佳能（Canon）的前段製程用大視場、高解析力 i-line 步進機。沿用前代機型 FPA-5510iX 的投影鏡頭，實現 0.5µm 的高解析力，並可以 50 × 50mm 的大視場進行曝光。
可對全片幅 CMOS 感測器與次世代 XR 顯示器所需的大視場一次完成高精細曝光。投影鏡頭也改用能穩定供應高品質產品的製造方法。
對準鏡除了量測直射光的明視野檢測之外，新增量測散射光與繞射光的暗視野檢測，可量測低對比度的標記。選配可選用能穿透矽的紅外線波長，支援背照式感測器製造所需的背面對準。並與解決方案平台 Lithography Plus 連動，實現高稼動率。