FPA-5550iZ2とは
FPA-5550iZ2 は、キヤノンの前工程向け i 線ステッパーです。i 線露光装置として最高水準の生産性と重ね合わせ精度を持ち、200mm／300mm ウェーハを選んで使えます。
解像力は 350nm 以下、NA は 0.57〜0.45 の自動可変、縮小比は 1:4、画面サイズは 26×33mm です。重ね合わせ精度は SMO（単体）18nm 以下、MMO 25nm 以下（オプション適用時）です。
アライメント・露光・ウェーハ搬送のシーケンスを最適化してウェーハ処理時間を短縮し、計測・キャリブレーションの高速化でロット交換時間も短くしました。スループットは従来機 FPA-5550iZ の初号機比で約 20% 向上しています。
主な特長
- •i 線、解像力 350nm 以下、画面 26×33mm
- •重ね合わせ SMO 18nm 以下・MMO 25nm 以下
- •シーケンス最適化で FPA-5550iZ 比スループット約 20% 向上
- •200／300mm ウェーハに対応
主な仕様
| 光源 | i 線（365 nm） |
|---|---|
| 開口数（NA） | 0.57 ～ 0.45（自動可変） |
| 解像度 | 350 nm 以下 |
| 重ね合わせ精度 | SMO 18 nm 以下・MMO 25 nm 以下（オプション） |
| 対応ウェハ径 | 200／300 mm（選択） |
| 関連機種 | FPA-5550iZ（前機種、スループット約 20% 向上） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ニコン（Nikon）NSR-SF155 | キヤノン（Canon）FPA-5550iZ2 |
|---|---|---|
| 光源 | i 線（365 nm） | i 線（365 nm） |
| 開口数（NA） | 0.62 | 0.57 ～ 0.45（自動可変） |
| 解像度 | 280 nm 以下 | 350 nm 以下 |
| 重ね合わせ精度 | 25 nm 以下 | SMO 18 nm 以下・MMO 25 nm 以下（オプション） |
| 関連機種 | NSR-2205iL1（解像度 350 nm 以下） | FPA-5550iZ（前機種、スループット約 20% 向上） |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| スループット | 200 枚／時 以上 | — |
|---|---|---|
| 対応ウェハ径 | — | 200／300 mm（選択） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ロジック・メモリのノンクリティカル層
- •イメージセンサー・パワーデバイスなどの量産
掲載カテゴリ
FPA-5550iZ2は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
キヤノン（Canon）
i線・KrFステッパーを長年供給する露光装置メーカー。近年はナノインプリント・リソグラフィ（NIL）を量産化し、EUVに代わる新たな微細化ルートとして注目される。
i線ステッパーのほかの製品
キヤノン（Canon）のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06