超純水製造系統是什麼
超純水（UPW：Ultrapure Water）製造系統是將半導體晶圓清洗製程所用的水精製至超高純度的廠務設施。透過逆滲透膜（RO）、離子交換樹脂、UV 照射、超過濾膜（UF）等多段處理，達成電阻率 18.2MΩ·cm（25°C）、TOC（總有機碳）0.1ppb 以下、微粒與微生物為零的水質。去除晶圓清洗中成為汙染源的金屬離子、有機物與微粒，直接支撐良率與可靠度。先進晶圓廠也有每 1 天消耗數千噸超純水的案例，搭配回收・再利用（recycle）系統實現水資源的永續利用已成為重要課題。
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尾氣處理設備（Abatement）
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高純度管路・工程高純度管路・工程是將超純水、化學品、特殊氣體送達晶圓廠內各設備之管路系統的施工技術。
屏蔽室・防振建築屏蔽室・防振建築是保護精密設備免受電磁雜訊與振動等外部干擾的結構設施。
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