最後更新:2026年10月22日後段製程・先進封裝晶圓切割・研磨中國大陸:划片槽(Scribe Line)

切割道是什麼(Scribe Line)

Scribe Line

切割道是晶圓上晶片與晶片之間、寬約50~100μm 的帶狀區域,供晶圓切割使用。它也是放置對準標記與 TEG 等製程管理圖形的地方,切割時會被切除。寬度越窄,能取得的晶片數越多,因此正逐步改用切割損耗較小的切割方法。

目錄7 項
  1. 定義與原理
  2. 圖解
  3. 常見問題
  4. 相關企業
  5. 相關用語
  6. 比較文章
  7. 資料來源

定義與原理

切割道(Scribe Line)是晶圓上排列的晶片與晶片之間,用於切割(dicing)的細長帶狀區域,也稱為 dicing street。寬度約50~100μm,以刀片或雷射沿著這個區域切開,把晶圓分成一顆顆晶片。

切割道既是切割用的間隔,也是放置製造管理所需圖形的地方。這裡會放置曝光對準用的對準標記、量測疊對偏差的標記、量測膜厚與線寬的圖形,以及量測電晶體與導線特性的測試元件(TEG)等,不必占用晶片面積就能監控製程。這些圖形會在切割時被切除。

切割道會直接影響晶片的取得數。寬度越窄,1片晶圓能取得的晶片越多,因此正逐步從會削去刀刃寬度材料的刀片切割,轉向切割損耗較小的隱形切割與電漿切割。另一方面,低介電常數(low-k)的導線層容易破裂或剝離,為了不讓切割時的崩邊擴散到晶片內部,會在晶片周圍設置稱為密封環(seal ring)的金屬牆加以保護。

圖解

切割道上放置的對準標記、TEG、量測圖形與切割空間

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這些圖形會在切割時被切除。

切割道(Scribe Line)的常見問題

為什麼要在切割道放 TEG?
因為不必占用晶片面積,就能量測電晶體與導線的特性、膜厚與線寬等來監控製程。切割道本來就會在切割時被切除,把量測用圖形放在這裡,就能在不減少產品面積的情況下進行品質管理。
縮小切割道寬度有什麼好處?
1片晶圓能取得的晶片數會增加。特別是晶片較小的產品,切割道所占的面積比例較大,效果更明顯。從會削去刀刃寬度材料的刀片切割,改用切割損耗較小的隱形切割或電漿切割,就能縮小寬度。

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資料來源

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