介電常數(Permittivity)是表示絕緣體(介電質)在電場中儲存電荷的難易程度(極化的難易程度)的數值。在半導體中,一般使用相對於真空介電常數之比的相對介電常數(εr,Dielectric Constant),也稱為k值。在2片電極之間夾入絕緣體所構成的電容器,其電容與相對介電常數成正比,與絕緣體厚度成反比。
代表性材料相對介電常數的參考值為:真空1、空氣近乎1、矽氧化層(SiO₂)約3.9、氮化矽約7、氧化鋁約9、氧化鉿(HfO₂)約20~25、矽約11.7、GaAs約12.9。用於導線層間的低介電常數膜(SiOC等)約2.5~3.0,多孔膜則低於2.5。印刷電路板的FR-4約為4上下,水約80,數值非常大。
在半導體中,不同位置所要求的介電常數正好相反。電晶體的閘極絕緣層需要大電容,使閘極能強力控制通道,但氧化層太薄時電子會穿隧,使漏電流增加。因此使用介電常數大的高介電常數(High-k)膜,在物理上加厚的同時,獲得與換算成氧化層後較薄的膜相同的電容(EOT)。另一方面,導線之間的絕緣層與相鄰導線之間的電容會增加訊號延遲與功耗,因此使用介電常數小的低介電常數(Low-k)膜,或利用空氣間隙的氣隙(air gap)。高速基板也會為了抑制訊號損耗與延遲,選擇介電常數與介電損耗因子小的材料。