最後更新:2026年10月8日基礎概念內連線・金屬化中國大陸:介电常数

介電常數(相對介電常數・k值)是什麼

Dielectric Constant

介電常數是表示絕緣體在電場中儲存電荷難易程度的數值,在半導體中使用相對於真空之比的相對介電常數(k值)。SiO₂約3.9,HfO₂約20~25。閘極絕緣層為了獲得大電容而使用高介電常數的High-k膜,導線之間則為了減少訊號延遲而使用低介電常數的Low-k膜,兩者區分使用。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

介電常數(Permittivity)是表示絕緣體(介電質)在電場中儲存電荷的難易程度(極化的難易程度)的數值。在半導體中,一般使用相對於真空介電常數之比的相對介電常數(εr,Dielectric Constant),也稱為k值。在2片電極之間夾入絕緣體所構成的電容器,其電容與相對介電常數成正比,與絕緣體厚度成反比。

代表性材料相對介電常數的參考值為:真空1、空氣近乎1、矽氧化層(SiO₂)約3.9、氮化矽約7、氧化鋁約9、氧化鉿(HfO₂)約20~25、矽約11.7、GaAs約12.9。用於導線層間的低介電常數膜(SiOC等)約2.5~3.0,多孔膜則低於2.5。印刷電路板的FR-4約為4上下,水約80,數值非常大。

在半導體中,不同位置所要求的介電常數正好相反。電晶體的閘極絕緣層需要大電容,使閘極能強力控制通道,但氧化層太薄時電子會穿隧,使漏電流增加。因此使用介電常數大的高介電常數(High-k)膜,在物理上加厚的同時,獲得與換算成氧化層後較薄的膜相同的電容(EOT)。另一方面,導線之間的絕緣層與相鄰導線之間的電容會增加訊號延遲與功耗,因此使用介電常數小的低介電常數(Low-k)膜,或利用空氣間隙的氣隙(air gap)。高速基板也會為了抑制訊號損耗與延遲,選擇介電常數與介電損耗因子小的材料。

介電常數(相對介電常數・k值)的常見問題

SiO₂的相對介電常數是多少?
約3.9。矽氧化層長期以來是閘極絕緣層與層間介電層的標準材料,因此高介電常數膜與低介電常數膜的性能都以這個3.9為基準比較。表示閘極絕緣層電性厚度的EOT,也是換算成SiO₂的厚度。
為什麼要區分使用High-k與Low-k?
閘極絕緣層需要大電容,使閘極能強力控制通道,因此使用介電常數大的High-k膜。導線之間的絕緣層,導線彼此之間的電容會增加訊號延遲與功耗,因此使用介電常數小的Low-k膜。

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