Footprint在英文中意指「足跡」，引申為某物所佔的地板面積或設置面積。在半導體工廠中，製造設備佔用無塵室地板的面積稱為設備的footprint（佔地面積），被視為設備的重要規格之一。在電子電路領域，它也指將零件安裝到印刷電路板所需電極（焊墊，land）的配置與大小；在環境領域，則有表示溫室氣體排放量的碳足跡之意。
設備佔地面積之所以受到重視，是因為無塵室面積非常昂貴。無塵室配備空調・過濾器・防振措施・廠務設施，因此每1平方公尺的建設成本與營運成本遠高於一般建築，在同一棟廠房內能塞進多少產能，會左右投資效率。因此，設備的能力不只以單純的產出量（片/時）比較，也會以單位地板面積的產出量比較。設備廠商透過將多個製程腔體集中在傳送腔周圍的叢集式設備（cluster tool）、將製程腔體上下堆疊的結構，以及減少維修所需周邊空間的設計，努力縮小佔地面積。
考量佔地面積時，不只要評估設備本體，也要包含維修作業所需的周邊空間（服務區），以及放在地板下方下層廠務區（sub-fab）的真空幫浦・電源・尾氣處理設備等輔助設備。設備正面裝載埠與自動搬運通道的配置也會造成影響。在工廠設計階段，會累加各設備的佔地面積與服務區來決定無塵室的面積與配置，並預留未來增設或更換設備的空間。