臭氧水產生設備是什麼

臭氧水產生設備是將高濃度臭氧氣體溶解於超純水，製造可用於清洗之臭氧水的設備。臭氧以強氧化力分解有機汙染，並在矽表面形成薄的化學氧化膜，因此可作為硫酸過氧化氫（SPM）的替代，減少化學品用量與廢液量。由於分解後只會回復成氧氣，排水負荷小是其優點，但必須在使用前才產生並立即供應。濃度的穩定性與溶解臭氧衰減的對策，是決定清洗結果再現性的技術重點。

重點整理

將高濃度臭氧溶解於超純水，製造清洗用臭氧水
用於分解有機汙染與形成化學氧化膜，可替代 SPM
分解後回復成氧氣，廢液負荷小
在使用前才產生並保持濃度穩定，決定再現性

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