特殊基板(藍寶石・LT/LN・玻璃)是什麼
特殊基板是以矽或化合物半導體以外的材料製作之晶圓的總稱,包括藍寶石、鉭酸鋰(LT)、鈮酸鋰(LN)、石英、玻璃等。藍寶石用作 LED 與 GaN 元件的成長基板,LT・LN 利用其壓電性用於智慧型手機的 SAW 濾波器,玻璃則用作先進封裝的核心材料或中介層。各用途對晶向、厚度、表面粗糙度的要求不同,需要有別於矽的加工技術。
重點整理
藍寶石・LT・LN・石英・玻璃等矽以外的基板材料
藍寶石用作 LED 與 GaN 元件的磊晶成長基板
LT・LN 利用壓電性,用於 SAW 濾波器等 RF 零組件
玻璃基板作為先進封裝的核心材料備受關注
常見問題
LT・LN 基板用於什麼地方?
代表性用途是利用壓電性的表面聲波(SAW)濾波器,大量搭載於智慧型手機的高頻前端。近年也使用與矽貼合而成的複合基板。
玻璃基板在半導體領域受到關注的原因是什麼?
由於平坦性與尺寸穩定性高,且容易大尺寸化,作為 AI 用大型封裝中取代有機核心基板的核心材料,開發正持續推進。