磊晶晶圓是什麼

磊晶晶圓是在單晶基板上，成長出延續其晶向之薄單晶層的晶圓。由於能以不受基板所含 COP 或氧析出物等缺陷影響的潔淨層作為元件形成面，可提升良率與可靠度。磊晶層與基板可分別設定雜質濃度這點也很重要，在功率元件中，以高阻值磊晶層負責耐壓、低阻值基板負責導通電阻的設計是標準做法。膜厚與電阻率的面內均勻性，會直接成為元件特性的變異。

重點整理

在基板上成長延續其晶向之潔淨單晶層的晶圓

可用不受基板晶體缺陷影響的層作為元件形成面

磊晶層與基板可分別設定雜質濃度

膜厚與電阻率的面內均勻性會成為元件特性變異

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