最後更新:2026年10月23日HBM(高頻寬記憶體)

9800 TC next的特點與規格

Besi・HBM(高頻寬記憶體)

Besi 熱壓接合(TCB)接合機的最新機型。可處理 12 吋晶圓與 300×300 mm 面板,於氮氣微腔體內進行接合。

目錄6 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 常見問題
  5. 製造商與在台據點
  6. 資料來源

產品概要

9800 TC next 是 Besi 熱壓接合(TCB)設備的最新機型。專為凸塊間距持續微縮之先進封裝的高密度互連而設計。

貼裝精度為 X・Y 0.5µm @3σ、最差角落 0.8µm @3σ、旋轉方向 1mdeg @3σ。接合荷重最大 500N(1kN 選配),接合頭可加熱至 450°C,從 100°C 到 400°C 以每秒超過 400°C 的速度升溫。

基板可處理最大 12 吋晶圓(FOUP 3 埠)與 300×300mm 的四分之一面板,晶粒尺寸從 0.3mm 見方到 70mm 見方。接合在氮氣微腔體(O₂ 低於 100ppm)中進行,處理能力在接合時間 1 秒的條件下最大為 2,500UPH。

主要規格

接合方式熱壓接合(TCB)
貼裝精度X・Y 0.5 µm @3σ(最差角落 0.8 µm @3σ)
接合荷重最大 500 N(1 kN 選配)
處理能力最大 2,500 UPH(接合時間 1 秒時)
適用晶粒尺寸0.3 × 0.3 mm ~ 70 × 70 mm
主要用途高密度互連的先進封裝(晶粒堆疊)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

X・Y 0.5µm @3σ 的貼裝精度(最差角落 0.8µm)
接合荷重最大 500N(1kN 選配)
接合頭 450°C,升溫超過 400°C/秒
以氮氣微腔體在惰性氣氛中接合
支援晶圓(12 吋)與面板(300×300mm)

主要用途

  • HBM 等晶粒堆疊
  • 含小晶片(Chiplet)的高密度互連先進封裝

9800 TC next的常見問題

TCB(熱壓接合)與混合鍵合有何不同?
TCB 是以加熱與加壓接合微凸塊的方式。混合鍵合不使用凸塊,而是直接接合銅電極與絕緣膜,因此可支援更窄的間距。

製造商

Besi(總部:荷蘭)

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資料來源

  1. Besi 官方產品頁面:Besi 9800 TC next