最後更新:2026年10月23日各材料專用蝕刻機

Sense.i的特點與規格

科林研發(Lam Research)・各材料專用蝕刻機

延伸 Kiyo 與 Flex 技術的科林研發(Lam Research)蝕刻平台。特點為精簡・高密度的配置,以及透過設備智慧(Equipment Intelligence)進行自動校正・維護。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Sense.i 是科林研發(Lam Research)的電漿蝕刻平台。從業界領先的導體蝕刻 Kiyo 與介電質蝕刻 Flex 製程模組延伸技術,為關鍵/次關鍵的蝕刻用途提供差異化技術。

具備最先進的腔體技術與 Lam Equipment Intelligence 平台,以精簡・高密度的配置實現最高的晶圓產出密度。廠商表示,從零重新設計的架構具有可支援先進邏輯與記憶體未來10年以上技術藍圖的擴充性。

特點為更高的 3D 結構 CD 均勻性與蝕刻輪廓控制、以智慧感測最佳化製程模組並提升量產再現性,以及透過進行自主校正・維護的自動化系統減少停機時間與人力成本。

主要規格

方式反應性離子蝕刻(RIE)
主要技術Lam Equipment Intelligence・智慧感測・自主校正
主要用途導體・介電質蝕刻(先進邏輯・記憶體)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

延伸 Kiyo・Flex 技術的腔體
以精簡・高密度配置達到最高水準的晶圓產出密度
Lam Equipment Intelligence 與智慧感測
以自主校正・維護減少停機時間

主要用途

  • 導體蝕刻
  • 介電質蝕刻
  • 先進邏輯・記憶體的高 3D 結構

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹):1996 年成立的台灣技術訓練中心
  • Lam Research Manufacturing(桃園市中壢區):2016 年成立的製造子公司與全球翻新中心
  • 台南據點(台南):支援南部客戶的辦公室與訓練教室

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資料來源

  1. 科林研發(Lam Research)官方產品頁面:Lam Research Sense.i Product Family