Episode UL 是東京威力科創(TEL)於 2020年推出、支援 300mm 的蝕刻平台。搭載腔體數可在 4~12 之間選擇,最多支援業界最多的 12 腔體。
TEL 是腔體水平對向設計的先驅,Episode UL 即使配置到最多 12 腔體,在無塵室與廠務區兩方面都能大幅減少每個腔體的占地面積。比既有產品擴大了作業空間,也提高了維護性。
在傳送系統與製程模組上搭載多個感測器與高速控制系統,利用監控設備稼動與製程狀況的 TEL 獨家 Smart Tool 功能,可透過大數據分析進行自主的製程控制。同時支援介電膜與導體的蝕刻。