最後更新:2026年10月23日各材料專用蝕刻機

Episode UL的特點與規格

東京威力科創(TEL)・各材料專用蝕刻機

東京威力科創(TEL)可選擇最多 12 腔體、支援 300mm 的蝕刻平台。2020年上市,同時支援介電膜與導體蝕刻。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Episode UL 是東京威力科創(TEL)於 2020年推出、支援 300mm 的蝕刻平台。搭載腔體數可在 4~12 之間選擇,最多支援業界最多的 12 腔體。

TEL 是腔體水平對向設計的先驅,Episode UL 即使配置到最多 12 腔體,在無塵室與廠務區兩方面都能大幅減少每個腔體的占地面積。比既有產品擴大了作業空間,也提高了維護性。

在傳送系統與製程模組上搭載多個感測器與高速控制系統,利用監控設備稼動與製程狀況的 TEL 獨家 Smart Tool 功能,可透過大數據分析進行自主的製程控制。同時支援介電膜與導體的蝕刻。

主要規格

適用晶圓尺寸300 mm
方式反應性離子蝕刻(RIE)
腔體配置4 ~ 12 腔體(水平對向設計)
主要用途先進邏輯・記憶體的介電膜・導體蝕刻

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

可彈性選擇 4~12 腔體
以水平對向設計減少每個腔體的占地面積
以 Smart Tool 功能進行大數據分析與自主製程控制
提高維護性的寬廣作業空間

主要用途

  • 最新邏輯・記憶體的介電膜蝕刻
  • 導體蝕刻

製造商與在台據點

在台據點
  • 台灣東京威力科創(新竹):台灣子公司(1996 年成立)。設有訓練中心,並規劃擴建無塵室
  • 台南營運中心(台南):動工時預計 2024 年下半年完工,樓地板面積約 3.5 萬平方公尺,可容納近千名員工,負責零組件處理、技術服務與維修

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資料來源

  1. 東京威力科創(TEL)官方產品頁面:Episode UL