OPTISTATION-3200とは
OPTISTATION-3200 は、ニコンのウェハ外観検査装置です。マクロ検査と顕微鏡検査を 1 台で行え、300mm と 200mm のウェハの目視検査を簡単かつ迅速にできます。インライン検査システムとしても、研究開発の欠陥解析ツールとしても使われます。
マクロ検査では、ウェハ裏面の中央部か外周部を保持し、ジョイスティックでさまざまな姿勢にしてウェハを回しながら、ごみや傷、レジストの塗布ムラを目視で観察します。マクロ画像の取得で目視検査の置き換えもできます。ミクロ検査では、高 NA で長作動距離の CFI60-2 対物レンズを 6 本切り換え、明視野と暗視野を切り換えて観察します。
シリーズには前工程向けで 2 ポートの OPTISTATION-3200、自動ステージの 3100、手動ステージの 3000 があります。オプションで微分干渉観察、赤外線観察、3D 計測、エッジ幅（EBR）測長、エッジ欠けの検出、KLARF レビューにも対応します。
主な特長
- •マクロ検査と顕微鏡検査を 1 台で
- •6 本の対物レンズ
- •明視野／暗視野
- •前工程から後工程まで
主な仕様
| ラインアップ | OPTISTATION-3200（前工程）／3100／3000（後工程） |
|---|---|
| ウェハサイズ | 300mm・200mm（3100／3000 は兼用も可） |
| 顕微鏡 | 6 本の対物レンズ・明視野／暗視野 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | KLACIRCL™ | Onto InnovationNSX® 330 | Onto InnovationF30™ | Onto InnovationEB40™ | SCREENホールディングスZI-3600（パターン付きウェーハ外観検査装置） | SCREENホールディングスZI-2000（パターン付きウェーハ外観検査装置） | レーザーテックLX シリーズ | レーザーテックCIEL シリーズ | レーザーテックEZ300（ウェハエッジ形状測定装置） | ニコン（Nikon）AMI-5700 | ニコン（Nikon）OPTISTATION-3200 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 方式 | — | — | 5 対物レンズのターレット・明視野／暗視野／リング照明／IR レビュー | 明視野・暗視野のエッジ／裏面検査 | ラインセンサによる全面検査 | — | 多波長・全面高速撮像 | — | コンフォーカル光学系 | — | — |
| 構成 | 4 モジュールのクラスター（CIRCL5） | マクロ検査＋2D／3D 計測（オプション） | — | EB40（一体）・E40（エッジ）・B40（裏面） | — | — | 高分解能モデル・高スループットモデル | — | — | — | — |
| 主要用途 | 全面の欠陥監視・エッジプロファイル計測 | 先端パッケージのマイクロバンプ・RDL・TSV 検査 | — | — | — | — | — | — | ウェーハ外周部の歩留まり管理 | — | — |
| 検査範囲 | 表面・エッジ・裏面（全面） | 表面（100 ～ 330 mm ウェーハ） | — | — | — | — | — | — | — | — | — |
| 対応ウェハ径 | — | — | 100〜300 mm | — | — | 76〜200 mm | — | — | — | — | — |
| 機能 | — | — | — | — | — | — | — | 微小欠陥の特定・3D 測定 | 凹凸判定を含む自動欠陥分類・高解像度 3D 測定 | — | — |
1機種だけが掲載している項目（15件）
| 連携 | — | — | エッジ・裏面モジュール EB40 | — | — | — | — | — | — | — | — |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 範囲 | — | — | — | ベベル全体と裏面（Zone 1〜5） | — | — | — | — | — | — | — |
| スループット | — | — | — | — | 従来機（ZI-3500）比約 2 倍 | — | — | — | — | — | — |
| オプション | — | — | — | — | CD 測定・オーバーレイ測定 | — | — | — | — | — | — |
| 検査方式 | — | — | — | — | — | 比較検査（Die to Die・Cell to Cell） | — | — | — | — | — |
| 光学分解能 | — | — | — | — | — | 1.5µm・4µm | — | — | — | — | — |
| 検査対象 | — | — | — | — | — | — | 膜厚・エッチング量・CD のばらつき | — | — | — | — |
| 対象 | — | — | — | — | — | — | — | ウェーハエッジ・ベベル | — | — | — |
| モード | — | — | — | — | — | — | — | 高スループットモードを搭載 | — | — | — |
| 適用ウェハ | — | — | — | — | — | — | — | — | — | SEMI 準拠 300mm ノッチウェハ | — |
| 検査スループット | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 毎時 180 枚以上（標準倍率時） | — |
| 計測（オプション） | — | — | — | — | — | — | — | — | — | CD・膜厚・フォーカス | — |
| ラインアップ | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | OPTISTATION-3200（前工程）／3100／3000（後工程） |
| ウェハサイズ | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 300mm・200mm（3100／3000 は兼用も可） |
| 顕微鏡 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 6 本の対物レンズ・明視野／暗視野 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •インラインの外観検査
- •研究開発の欠陥解析
掲載カテゴリ
OPTISTATION-3200は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ニコン（Nikon）
DUVスキャナーおよびi線ステッパーの主要メーカー。高解像度光学技術とウェーハステージ技術に強みを持ち、成熟プロセス向けや再生装置市場で存在感を発揮。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07