Triase+ SPAi 是東京威力科創（TEL）的單片式電漿處理設備。作為實績與可靠度高的 Triase+ SPA 系列次世代版本，著重於提升生產力與降低環境負荷而開發。
SPA 系列的特點是使用 TEL 長年累積的 SPA（Slot Plane Antenna）電漿生成技術所產生的高密度、低電子溫度電漿，進行低溫且損傷少的處理。SPAi 在承襲此特點的同時提升產出，並透過降低耗電量減少 CO₂ 排放量，也縮小了占地面積。
具備偏壓功能，兼顧良好膜質與高覆蓋率。支援閘極氮化、閘極修復氧化、STI 襯層氧化、High-k 氮化等重要前段製程。