Ulucus L的特點與規格

Ulucus L 是東京威力科創（TEL）面向 300mm 3D 高密度構裝元件的雷射邊緣修整設備。將在塗佈顯影機上量產實績豐富的平台，結合獨家先進雷射控制單元開發而成。

提供媲美前段製程的超潔淨技術，以及高可靠度與生產力。以雷射控制實現高品質的斷裂面，以及高精度・高速的邊緣修整。

由於是加工中不使用純水的乾式製程，可減少純水用量、發塵量與廢水量。在晶圓接合後進行邊緣修整，也有助於減少修整前後的製程步驟數。