Entrepix

米国のCMP装置専業メーカー。OnTrak系の洗浄装置、AMATのMirra・Reflexion、IPEC 472、Strasbaugh製などの研磨装置を再生するほか、新型洗浄装置OnTrak DSS-200の製造と、CMPの受託加工(ファウンドリ)を行う。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の中古装置カテゴリでは、CMP装置と洗浄装置に特化して旧型機の再生と新造を行う米国の装置会社として位置づけられます。

企業の強み

旧型CMP装置・洗浄装置の再生
新型洗浄装置OnTrak DSS-200の製造
CMPの受託加工とプロセス開発

主要製品・ソリューション

再生装置

  • •AMAT Mirra・Reflexion
  • •IPEC 472
  • •OnTrak洗浄装置

新造装置

  • •OnTrak DSS-200

受託

  • •CMP受託加工

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