エアシャワーとは、クリーンルームの入口に置かれた小部屋で、中に入った人に、フィルタできれいにした空気を強い勢いで吹き付けて、服や体に付いたちりやほこりを吹き飛ばしてから、クリーンルームに入れるようにする設備です。人はクリーンルームの中で最も大きなパーティクルの発生源のため、持ち込む汚れをできるだけ減らすことが目的です。
壁や天井のノズルから、HEPAフィルタを通した空気を毎秒20〜25m程度の速さで吹き付け、10〜30秒程度、腕を上げたり体を回したりしながら全身に当てます。吹き飛ばしたちりは床の近くから吸い込まれ、フィルタで集められます。入口と出口の扉は、同時に開かないように連動（インターロック）しており、外の空気がそのままクリーンルームに流れ込むのを防ぎます。
エアシャワーは、無塵衣（クリーンスーツ）を正しく着た後に通るのが前提で、服の表面に付いた比較的大きなちりを落とす効果はありますが、服の中や肌から出てくるパーティクルまでは取り除けません。そのため、クリーンスーツの着方、粘着マットでの靴底の汚れの除去、入室の手順と組み合わせて、クリーンルームの清浄度を保ちます。物を持ち込むときは、人の出入口とは別のパスボックスを使います。
