イオナイザー（除電器）とは、空気の中にプラスとマイナスのイオンを作り出し、物の表面にたまった静電気を、反対の電荷のイオンで打ち消して取り除く装置です。クリーンルームでは湿度が低く管理されていて静電気がたまりやすく、静電気はちりを引き寄せたり、放電（ESD）で半導体の素子を壊したりするため、除電が欠かせません。
代表的な方式は、針の形の電極に高い電圧をかけてコロナ放電を起こし、イオンを作るコロナ放電式です。電圧のかけ方で、交流式、直流式、パルス直流式などがあります。もう1つは、軟X線を空気に当てて分子を直接イオンにする軟X線式で、放電を使わないため、電極からのちりやオゾンが出ず、ウェハのすぐ近くでも使えます。
イオナイザーには、プラスとマイナスのイオンの量のつり合い（イオンバランス）が崩れると、逆に物を帯電させてしまう問題があります。また、コロナ放電式は使ううちに針の先が削れたり汚れたりして、性能が落ちたりちりが出たりします。そのため、帯電させた金属板の電圧が下がる時間（除電の速さ）とイオンバランスを、チャージプレートモニタという測定器で定期的に確かめます。
