SEMI F47とは、雷などで電力の系統の電圧が一瞬だけ下がる瞬時電圧低下（瞬低、電圧サグ）が起きても、半導体の製造装置が止まらずに動き続けられるように、装置が耐えるべき電圧の低下の大きさと時間を定めたSEMIの規格です。電圧が完全になくなる停電とは違い、瞬低は数十ms〜1秒程度の短い時間に、電圧が平常の数十%まで下がる現象です。
規格では、装置が止まらずに耐えるべき条件として、電圧が平常の50%まで下がる状態が0.2秒、70%まで下がる状態が0.5秒、80%まで下がる状態が1秒続いても、動作を続けられることを求めています。電圧と時間を軸にしたグラフに、この条件の線（F47曲線）を引き、装置の試験の結果がその上にあれば合格です。
半導体の製造では、装置が瞬低で1台止まるだけでも、処理中のウェハが不良になったり、装置の立ち上げ直しに長い時間がかかったりして、大きな損失になります。工場全体を無停電電源装置（UPS）で守るのは費用がかかるため、まず装置そのものを瞬低に強くし、それでも足りない重要な部分だけをUPSなどで守る、という考え方で、この規格が使われています。装置の電源や制御の回路、リレーやモーターの選び方が対策の中心です。
