FFU（ファンフィルタユニット）とは、ファンとHEPA・ULPAなどの高性能フィルタを一体にした装置で、クリーンルームの天井に並べて清浄な空気を上から下へ流します。空気は床下から壁の中を通って天井上のプレナムに戻り、循環します。大型工場では数千台以上を使うため省エネが課題で、EFEMの中にも小型のFFUが使われます。
目次7項目
- 定義・解説
- 図解
- よくある質問
- 設備の製造メーカー
- 関連用語
- 比較・違いを学ぶ
- 出典・参考資料
定義・解説
FFU（Fan Filter Unit：ファンフィルタユニット）とは、送風機（ファン）と高性能のエアフィルタを1つの箱にまとめた装置で、クリーンルームの天井に並べて、ろ過したきれいな空気を上から下へ吹き出します。半導体工場のクリーンルームの空気の清浄度は、このFFUで作られています。
フィルタには、0.3μmの粒子を99.97%以上取るHEPAフィルタや、さらに細かい粒子を99.999%以上取るULPAフィルタが使われます。吹き出した空気は床の穴から下の空間（床下）に抜け、壁の中を通って天井の上の空間（プレナム）に戻り、再びFFUを通って循環します。天井の全面にFFUを並べ、毎秒0.3〜0.5m程度の速さで空気を一方向に流すことで、作業や装置から出たパーティクルをすぐ下へ押し流します。
FFUは1台ごとに風量を調整でき、必要な場所だけを交換・増設できるのが利点です。大型の工場では数千台から数万台が使われるため、ファンの消費電力が大きく、省エネルギー型のモーターや、場所に応じて風量を下げる制御が使われます。装置の前面のEFEMやミニエンバイロメントの中にも小型のFFUが付いており、ウェハのまわりだけを特に清浄に保っています。有機物などのガス状の汚染を取るケミカルフィルタを組み合わせることもあります。
図解
装置前面のEFEMやミニエンバイロメントにも小型のFFUが付いている。よくある質問（FAQ）
HEPAフィルタとULPAフィルタの違いは何ですか？
HEPAフィルタは0.3μmの粒子を99.97%以上取り除くフィルタで、ULPAフィルタはさらに細かい0.1〜0.2μm程度の粒子を99.999%以上取り除くフィルタです。半導体の最先端の工場では、より清浄度の高いULPAフィルタが使われます。
クリーンルームの空気はどのように循環しますか？
天井のFFUから下向きに吹き出した空気は、床に開いた穴を通って床下の空間に抜け、壁の中の通り道を上がって天井の上の空間（プレナム）に戻ります。そこから再びFFUでろ過されて吹き出すという循環を繰り返し、一部は外気と入れ替えます。
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