清浄度クラスとは、クリーンルームの空気がどれだけきれいかを、空気1m³あたりに含まれる、決められた大きさ以上のパーティクル（微粒子）の数の上限で表した等級です。国際規格のISO 14644-1では、クラス1からクラス9までの9段階が定められ、数字が小さいほどきれいです。日本ではJIS B 9920も同じ考え方で定められています。
ISOのクラスNでは、0.1μm以上のパーティクルの数の上限が、1m³あたり10のN乗個になるように決められています。たとえばISOクラス5では、0.1μm以上が10万個、0.5μm以上が3,520個までです。以前は米国の連邦規格（FED-STD-209E）の「クラス100」「クラス10」という呼び方が広く使われており、これは1立方フィートあたりの0.5μm以上のパーティクルの数で、クラス100がISOクラス5、クラス10がISOクラス4、クラス1がISOクラス3にほぼ相当します。現場では今もこの呼び方が使われることがあります。
半導体の工場では、ウェハがむき出しになる場所ほど高い清浄度が求められます。ただし、建屋全体を非常に高いクラスに保つのは、空調の費用がかかりすぎます。そこで現在の工場では、ウェハをFOUPという密閉された容器に入れて運び、装置の前のEFEMの中だけを特に清浄に保つミニエンバイロメントの考え方で、部屋全体の清浄度は少し緩めながら、ウェハの周りだけを極めて高い清浄度にしています。
