パスボックスとは、クリーンルームの壁に取り付けられた、両側に扉のある箱形の受け渡し口で、人が出入りせずに、部品や書類、道具などの物だけを、清浄度の違う部屋の間で受け渡すための設備です。人がエアシャワーを通って出入りするたびに、時間がかかり、汚れが持ち込まれる可能性もあるため、物だけを渡す経路を別に設けています。
外側の扉を開けて物を入れ、扉を閉めてから、内側の扉を開けて取り出します。両側の扉は同時に開かないよう連動(インターロック)していて、外の空気がそのままクリーンルームに流れ込むのを防ぎます。HEPAフィルタと送風機を内蔵し、箱の中に清浄な空気を流して物の表面のちりを落とすダイナミック型や、殺菌用の紫外線ランプを備えたものもあります。
パスボックスに物を入れる前には、外側の汚れた包装を外したり、表面をアルコールで拭いたりして、汚れを持ち込まないようにするのが一般的です。半導体の工場では、ウェハそのものはFOUPなどの密閉容器と自動搬送で運ばれますが、交換用の部品、治具、消耗品などの受け渡しにパスボックスが使われます。