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最終更新 2026-10-28

パスボックスとは(物品の受け渡し口)

Pass Box

パスボックスとは、クリーンルームの壁に取り付けた両側に扉のある箱形の受け渡し口で、人が出入りせずに、部品や道具などの物だけを清浄度の違う部屋の間で受け渡す設備です。両側の扉は同時に開かないよう連動し、清浄な空気を流すダイナミック型もあります。人の出入口のエアシャワーとは別に設けます。

目次7項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. よくある質問
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ
  7. 出典・参考資料

定義・解説

パスボックスとは、クリーンルームの壁に取り付けられた、両側に扉のある箱形の受け渡し口で、人が出入りせずに、部品や書類、道具などの物だけを、清浄度の違う部屋の間で受け渡すための設備です。人がエアシャワーを通って出入りするたびに、時間がかかり、汚れが持ち込まれる可能性もあるため、物だけを渡す経路を別に設けています。

外側の扉を開けて物を入れ、扉を閉めてから、内側の扉を開けて取り出します。両側の扉は同時に開かないよう連動(インターロック)していて、外の空気がそのままクリーンルームに流れ込むのを防ぎます。HEPAフィルタと送風機を内蔵し、箱の中に清浄な空気を流して物の表面のちりを落とすダイナミック型や、殺菌用の紫外線ランプを備えたものもあります。

パスボックスに物を入れる前には、外側の汚れた包装を外したり、表面をアルコールで拭いたりして、汚れを持ち込まないようにするのが一般的です。半導体の工場では、ウェハそのものはFOUPなどの密閉容器と自動搬送で運ばれますが、交換用の部品、治具、消耗品などの受け渡しにパスボックスが使われます。

図解

表面の清掃、外側の扉からの投入、清浄な空気による浄化、内側の扉からの取り出しまでの流れ

図をタップで2倍に拡大

ウェハはFOUPと自動搬送で運び、部品や消耗品をパスボックスで渡す。

よくある質問(FAQ)

パスボックスとエアシャワーの違いは何ですか?
エアシャワーは人がクリーンルームに出入りするための入口で、体や服のちりを吹き飛ばします。パスボックスは物だけを受け渡すための箱で、人は通りません。人と物の経路を分けることで、出入りの回数と汚れの持ち込みを減らせます。
ダイナミック型のパスボックスとは何ですか?
HEPAフィルタと送風機を内蔵し、箱の中に清浄な空気を流し続けるパスボックスです。物を入れた後に空気を流すことで、表面のちりを落とし、箱の中の清浄度を保ちます。フィルタのない箱形のものはスタティック型と呼ばれます。

設備の製造メーカー

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比較・違いを学ぶ

出典・参考資料

  1. 日本エアーテック「エアーシャワー/パスボックス|製品の特徴」(2026/10/28 確認)