SEMICON Japan 2026(12/9〜11)にあわせて、出展企業さまの広告掲載のご相談を受け付けています。SEMICON Japan 2026 広告募集詳しく見る

最終更新 2026-10-28

ピラニ真空計とは

Pirani Gauge

ピラニ真空計とは、電流で温めた細い線から、まわりの気体が奪う熱の量が圧力によって変わることを利用して圧力を測る熱伝導型の真空計です。おおむね0.1Pa程度から大気圧近くまでを安く測れ、ロードロック室などで使われます。気体の種類によって値が変わるため、正確な管理には隔膜真空計を使います。

目次7項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. よくある質問
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ
  7. 出典・参考資料

定義・解説

ピラニ真空計とは、細い金属の線(フィラメント)を電流で温め、まわりの気体が熱を奪う量が圧力によって変わることを利用して圧力を測る真空計です。気体の分子が多い(圧力が高い)ほど、線にぶつかって熱を持ち去るため、線の温度が下がり、電気抵抗が変わります。この変化から圧力を求めます。1906年にドイツの物理学者ピラニが考案しました。熱伝導型の真空計の代表です。

測れる圧力の範囲は、おおむね0.1Pa程度から大気圧に近い領域までです(気体の対流の効果を使う種類では大気圧まで)。低真空から中真空を安く簡単に測れるため、ロードロック室やポンプの排気の状態の監視、高真空のポンプを起動してよいかの判断など、真空装置のいたるところで使われています。

ピラニ真空計の値は、気体の種類によって変わることに注意が必要です。気体によって熱の伝えやすさが違うため、ふつうは窒素(空気)で目盛りが合わせてあり、ヘリウムやアルゴンなど別の気体を測ると、実際の圧力と違う値を示します。プロセスの圧力を正確に管理する場合は、気体の種類によらない隔膜真空計(キャパシタンスマノメータ)が使われます。

図解

線の加熱、気体による熱の奪取、抵抗の変化、圧力への換算までのピラニ真空計の流れ

図をタップで2倍に拡大

測定範囲はおおむね0.1Pa程度から大気圧近くまで。

よくある質問(FAQ)

ピラニ真空計はなぜ気体の種類で値が変わるのですか?
気体の種類によって、分子が線から持ち去る熱の量(熱の伝えやすさ)が違うためです。ふつうは窒素や空気で目盛りが合わせてあるので、熱をよく伝えるヘリウムなどを測ると、実際より高い圧力を示します。気体ごとの補正の係数を使うか、隔膜真空計で測ります。
ピラニ真空計と電離真空計の違いは何ですか?
ピラニ真空計は気体の熱の伝えやすさを利用し、低真空〜中真空(おおむね0.1Pa以上)を測ります。電離真空計は気体の分子をイオンにしてその電流から圧力を求め、高真空〜超高真空を測ります。測れる範囲が違うため、両方を組み合わせた複合型の真空計もあります。

設備の製造メーカー

関連する装置カテゴリ

同じトピックの用語

真空・ガス/薬液供給サブシステム のトピックで関連する用語です。

同じトピックの企業

Edwards Vacuum(Atlas Copco傘下)英国荏原製作所日本樫山工業日本VAT Groupスイス堀場製作所日本フジキン(Fujikin)日本

比較・違いを学ぶ

出典・参考資料

  1. アルバック「ピラニ真空計|製品情報」(2026/10/28 確認)