キャパシタンスマノメータ（隔膜真空計）とは、薄い金属やセラミックスの膜（ダイヤフラム）が、両側の圧力の差でわずかにたわむことを、膜と向かい合う電極の間の静電容量（キャパシタンス）の変化として測り、圧力を求める真空計です。膜を押す力そのものを測るため、気体の種類によらず正確な圧力が分かるのが最大の特長です。
1台で測れる範囲は、最大の圧力（フルスケール）のおよそ4〜5桁です。そのため、1,000Torr、10Torr、1Torr、0.1Torrのように、フルスケールの違う製品を用途に合わせて選びます。精度は読み値の0.1〜0.5%程度と高く、測る気体が膜に結露したり付着したりしないよう、本体を一定の温度に温めて使う加熱型もあります。
半導体の製造装置では、ドライエッチングやCVD、ALDなどのチャンバーの圧力を管理する標準の真空計として使われています。チャンバーの圧力をこの真空計で測り、排気側の圧力調整バルブの開き具合を自動で変えて、ガスを流しながら一定の圧力を保ちます。プロセスのガスは種類が多く混ざっているため、気体によって値が変わるピラニ真空計や電離真空計ではなく、キャパシタンスマノメータが使われます。
