Iris 100

マイクロ LED のアレイの各エミッタを測る、量産向けの光学テストプラットフォーム。UltraFLEXplus と統合する。

Iris 100とは

Iris 100 は、Teradyne のマイクロ LED デバイス向けの量産用光学テストプラットフォームです。アレイの個々のエミッタをすべて測り、UltraFLEXplus と直接統合して光と電気を一緒に試験することで、半導体グレードの光学試験をマイクロ LED の製造に持ち込みます。

ウェーハ試験とファイナルテストに対応し、すでに運用している装置群に光学試験を加えられます。分光器と高解像度カメラで、アレイの分光応答と画素ごとの輝度・均一性を測ります。

試験の並列化と画像処理のアルゴリズムで、マイクロ LED アレイ全体を高スループットで評価します。広く使われている IG-XL ソフトウェアで、点灯しない・点きっぱなしの画素やクラスタ欠陥などの光学欠陥を製造の早い段階で検出します。NIST にトレーサブルな校正で絶対測定ができます。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	アドバンテストT2000 イメージセンサテストソリューション	Teradyne（テラダイン）IP750Ex-HD	Teradyne（テラダイン）Iris 100	ウインテストWTS-311NX
対応デバイス	CMOS イメージセンサー	CCD・CMOS イメージセンサー・ToF センサー	—	ハイエンド CCD・CMOS イメージセンサー
同時測定数	1 モジュールあたり 4 デバイス	最大 32 サイト	—	複数デバイス同時測定
システム構成	空冷 13 スロット～液冷 52 スロット・最大 8,192ch	照明装置（イルミネータ）内蔵	—	ウェーハ／ファイナル検査兼用
主要用途	スマートフォン・車載カメラ用 CIS の量産テスト	イメージセンサーの低コスト量産テスト	—	イメージセンサーのウェーハ・ファイナル検査

1機種だけが掲載している項目（4件）