GDSII(GDS2,Graphic Data System II)是用來表現晶片佈局的業界標準資料格式。以座標描述各層(layer)的多邊形、路徑、階層結構(cell 的參照)的二進位檔案,作為設計者將晶片佈局交給晶圓代工廠之「投片(tape-out)」的交付物,以及製作光罩的原始資料。1970 年代為 Calma 公司佈局系統所開發的格式,就此作為業界標準沿用至今。
GDSII 的基本要素包括:以層編號與資料類型組合區分的圖層、該圖層上的圖形(多邊形邊界 boundary、具寬度的路徑 path、文字 text),以及彙整圖形的 cell(structure)與其參照。由於具有多次參照同一 cell 的階層結構,即使是大量排列相同標準元件或 SRAM 位元單元的晶片,也能壓低資料量。哪個層編號對應哪一製造層,由 PDK 的圖層對照表定義。
GDSII 因為是舊格式而有一些限制。它沒有壓縮資料的機制,數值表示也有限制,因此在先進晶片中檔案可能達數百 GB。為此,SEMI 於 2004 年將 OASIS(SEMI P39)標準化為後繼格式。OASIS 在重複圖形的表示與壓縮上表現優異,可將相同資料縮小到數分之 1~10 分之 1 左右,在光罩資料處理中 OASIS 正逐漸成為主流。
投片時收到的 GDSII/OASIS 資料,會在晶圓代工廠端進行光罩資料處理(MDP)。經過 DRC 最終確認、插入虛擬圖樣、以光學鄰近效應修正(OPC)修正圖形、針對寫入設備的圖形分割(fracturing)後,以電子束寫入設備寫在光罩上。OPC 後的資料比原始佈局大好幾倍,因此光罩資料處理本身就成了大規模運算。