光罩倉儲系統（Reticle Stocker）是什麼
光罩倉儲系統（Reticle Stocker）是將光罩（Reticle）保管在潔淨環境中，並依曝光機的需求自動出庫的保管・傳送系統。光罩會因霧化成長或微粒附著而劣化，因此在具備氮氣吹淨與高潔淨度環境控制的庫內管理。具備以 RFID 進行個體管理、與 AMHS 連接進行無人搬運，以及追蹤使用履歷與清洗時機的功能，處理的光罩品項愈多的晶圓廠，對運轉效率的貢獻愈大。
重點整理
將光罩保管在潔淨環境中，並自動出庫至曝光機
以氮氣吹淨等環境控制抑制霧化成長與附著汙染
可用 RFID 進行個體管理，並追蹤使用履歷・清洗時機
與 AMHS 連接進行無人搬運的配置很普遍
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光罩製造設備的其他分類
光罩清洗・乾燥設備
光罩清洗・乾燥設備是去除附著在光罩（Reticle）表面之微粒、有機汙染、霧化（Haze）的設備。
光罩塗佈顯影機光罩塗佈顯影機是對空白光罩進行光阻塗佈，以及在電子束寫入後進行顯影的設備。
光罩蝕刻設備光罩蝕刻設備是以經過電子束寫入與顯影的光阻圖案為遮罩，蝕刻空白光罩上的鉻膜或相位移膜（MoSi），形成最終遮光圖案的設備。
光罩尺寸・平坦度量測設備光罩尺寸・平坦度量測設備是量測完成之光罩的圖案尺寸（CD）、位置精度（Registration）與基板平坦度的設備。
光罩修補設備光罩修補設備是以原子・奈米等級去除、修補製造後光罩（Reticle）上缺陷的設備。
光罩寫入機（電子束寫入）光罩寫入機（電子束寫入機）是使用電子束（EB：Electron Beam），在空白光罩上以高精度寫入電路圖案的設備。