通孔(Via)是指在多層內連線中,為連接上下導線層而在層間介電層開設的孔,以及填入其中的導體。也稱為通孔洞(via hole)。一般將連接電晶體(源極・汲極・閘極)與最下層導線者稱為接觸窗(contact),連接導線層之間者稱為通孔,兩者分開稱呼。
先進邏輯晶片有超過10層的導線層,1顆晶片中形成數十億個通孔。銅導線採用雙鑲嵌(dual damascene)製程,在層間介電層以蝕刻形成通孔的孔與導線的溝槽(trench),濺鍍阻障金屬與銅晶種層後,以電鍍將銅同時填入孔與溝槽,再以CMP去除溢出的銅。在鋁導線時代,通孔是以鎢(W栓塞)填充。隨著微縮化,通孔直徑已縮小到數十nm以下,如何無孔洞(void)地填充高深寬比的孔,以及阻障金屬所占比例增加導致通孔電阻上升,都成為課題。
通孔的不良包括蝕刻未達底部的開孔不良、填充不良造成的孔洞、與上下導線的對位偏移,以及電遷移或應力遷移造成的斷線等。在量產中,以將大量通孔串聯而成、稱為通孔鏈(via chain)的測試圖案評估電阻與良率。此外,通孔一詞也用於封裝與載板,貫穿矽的TSV(Through-Silicon Via,矽穿孔)、貫穿封膠的TMV、貫穿玻璃基板的TGV等貫穿電極也是通孔的一種。