オゾン水生成装置メーカー4社
オゾン水生成装置は、高濃度のオゾンガスを超純水へ溶解させ、洗浄に使えるオゾン水を作る装置です。オゾンは強い酸化力で有機汚染を分解し、シリコン表面に薄い化学酸化膜を作るため、硫酸過水（SPM）の代替として薬液使用量と廃液量を削減できます。分解して酸素に戻るだけなので排水負荷が小さいのが利点で、使用直前に生成して即座に供給する必要があります。濃度の安定性と溶存オゾンの減衰対策が、洗浄結果の再現性を決める技術的な要点です。
主要特徴
メーカー
4社の主要メーカー
MEMS・パワー・TSV向けの深掘り反応性イオンエッチング（DRIE）装置やマイクロ加工技術で知られる。航空・熱制御事業も併せ持つ精密機器メーカー。
- •深掘りエッチング（DRIE）で高アスペクト比加工に強み
- •MEMS・TSV・パワーデバイス向けプロセス
水処理・超純水製造装置の国内大手メーカー。半導体ファブ向けの超純水（UPW）製造システムを中心に、排水処理まで一貫した水処理ソリューションを提供する。
- •超純水製造装置で国内トップクラス
- •半導体ファブ向け水処理インフラに強み
水処理エンジニアリングの大手。超純水製造装置と排水回収システムに加え、洗浄工程で使うオゾン水・水素水などの機能水生成装置を供給する。
- •超純水製造装置で国内トップクラス
- •オゾン水・水素水など機能水の生成技術
照明器具と光応用装置のメーカー。ランプ開発技術を核に、紫外線硬化・殺菌用のUV光源やエキシマランプ、オゾン発生装置を供給する。
- •HID・LED・UVを横断するランプ開発力
- •エキシマランプなど短波長光源を自社製造
関連カテゴリ
薬液ポンプ（ベローズポンプ）は、フッ酸や硫酸過水といった強腐食性の薬液を、金属汚染とパーティクルを持ち込まずに送液するポンプです。
メーカー 2 社チラー・温調機チラー・温調機は、冷媒や熱媒液を循環させて装置各部の温度を一定に保つユニットです。
メーカー 3 社ディスペンサディスペンサは、接着剤・アンダーフィル材・封止樹脂などの高粘度液体を、指定した位置へ定量吐出する装置です。
メーカー 5 社液・ガス用部品（継手・チューブ）液・ガス用部品は、装置内で薬液・純水・ガスを運ぶバルブ・継手・チューブ・フィルタといった配管部品の総称です。
メーカー 9 社Oリング・シールOリング・シールは、真空チャンバやガス配管の接合部を封止する弾性シール部品です。
メーカー 5 社