超音波・兆音波換能器是什麼

超音波・兆音波換能器是對清洗液施加高頻聲波，以其物理力使晶圓表面的微粒剝離的零組件。數十 kHz 的超音波清洗是利用空蝕氣泡的劇烈崩潰，相對地，0.8～2MHz 頻段的兆音波則以聲流的溫和作用為主，能在不使微細圖形倒塌的情況下只剝離微粒。頻率、輸入功率、液體中的溶解氣體量決定了清洗力與損傷的平衡，在實務上，關鍵在於掌握圖形崩塌的極限。

重點整理

對清洗液施加高頻聲波，以物理力剝離微粒
MHz 頻段的兆音波以聲流為主，不易使圖形倒塌
頻率・功率・溶解氣體量決定清洗力與損傷
對微細圖形而言，掌握崩塌極限是實務上的關鍵

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