隔振系統是什麼

隔振系統是阻隔從地板傳來的振動與設備本身產生的振動，讓精密單元處於安靜環境的機構。以空氣彈簧的被動隔振衰減低頻的地板振動，再結合以加速度感測器與致動器主動抵銷振動的主動隔振。曝光機、電子顯微鏡與干涉儀都具有 nm 級的解析度，即使只有數十 nm 的振幅，影像也會模糊，量測值也會跳動。不只是設備本身，晶圓廠的地板結構本身也是隔振設計的對象。

重點整理

阻隔地板振動與自激振動，讓精密單元處於安靜環境
併用空氣彈簧的被動隔振與感測器驅動的主動隔振
具 nm 級解析度的設備，即使數十 nm 的振幅也會使性能下降
設計對象不只設備本身，還包括晶圓廠的地板結構

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