精密載台・干涉儀是什麼
精密載台・干涉儀是承載並移動晶圓，以 nm 精度量測其位置的單元。在曝光機中，晶圓載台每 1 片晶圓要反覆進行數十次高速定位，期間雷射干涉儀或編碼器持續讀取實際位置，並回饋與目標之間的差值。加速時反作用力造成的機台振動、雷射光路的空氣擾動、熱膨脹全都是誤差來源，因此需要包含線性馬達、空氣軸承與環境控制在內的整體設計。疊對精度就在這裡決定。
重點整理
移動晶圓並以 nm 精度量測位置的單元
以雷射干涉儀・編碼器讀取實際位置並回饋
反作用力振動・空氣擾動・熱膨脹全都是誤差來源
實質上決定曝光機疊對精度的部分
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