各類感測器・馬達是什麼

各類感測器・馬達是偵測設備狀態、驅動機構的基礎零組件。包括偵測晶圓有無的光電・靜電容量感測器，流量・壓力・溫度感測器，定位用的編碼器與伺服馬達，以及負責開關的氣壓缸等。在半導體設備中，與一般產業用途的差異在於：不能在藥液氣氛或電漿環境中誤動作，且本身不能成為微粒來源。感測器 1 處誤偵測就可能導致晶圓掉落或腔體開啟，因此有無冗餘設計與自我診斷功能決定了可靠度的高低。

重點整理

負責晶圓偵測・流量壓力溫度量測・定位的基礎零組件群
要求在藥液氣氛或電漿環境中不誤動作
結構・材質本身不能成為微粒來源
1 處誤偵測就可能釀成事故，因此冗餘設計與自我診斷很重要

相關用語

製程控制是什麼→靜電吸盤（ESC）是什麼→聚焦環（邊緣環）是什麼→噴淋頭（氣體分配盤）是什麼→腔體內襯（沉積防護罩）是什麼→石英零組件（石英玻璃部件）是什麼→氧化釔熔射塗層（耐電漿塗層）是什麼→陶瓷加熱器（AlN 加熱器）是什麼→承載盤（Susceptor）是什麼→O 形環・密封材是什麼→RF 電源（射頻電源）是什麼→阻抗匹配器（匹配箱）是什麼→遠端電漿源（RPS）是什麼→製程腔體（Process Chamber）是什麼→電漿鞘層（Sheath）是什麼→自偏壓（Vdc）是什麼→

比較文章

驅動・光學單元的其他分類

準分子雷射振盪器

準分子雷射振盪器是以放電激發稀有氣體與鹵素的混合氣體，發出紫外光的光源。

超音波・兆音波換能器

超音波・兆音波換能器是對清洗液施加高頻聲波，以其物理力使晶圓表面的微粒剝離的零組件。

光學單元・UV 燈

光學單元・UV 燈是在設備內產生光、整形光，並將光導引至所需位置的一系列零組件。

精密載台・干涉儀

精密載台・干涉儀是承載並移動晶圓，以 nm 精度量測其位置的單元。

隔振系統

隔振系統是阻隔從地板傳來的振動與設備本身產生的振動，讓精密單元處於安靜環境的機構。

晶圓傳送機械手臂・取放系統

晶圓傳送機械手臂・取放系統是在載具與製程腔體之間夾取、搬運、放置晶圓的機構。

所屬主題

半導體企業一覽
設備・材料・晶圓代工・IC 設計・封測企業的據點與主力產品
→