光學單元・UV 燈是什麼

光學單元・UV 燈是在設備內產生光、整形光，並將光導引至所需位置的一系列零組件。在光罩對準曝光機或 UV 固化設備中，高壓汞燈供應以 365nm（i-line）為中心的紫外光；在檢測設備中，透鏡、反射鏡與照明光學系統決定解析度與對比。燈管的照度會隨點燈時間下降，因此與照度監測連動的曝光量控制不可或缺。正持續改用 LED 光源，因其瞬間點亮・長壽命・波長選擇性等優點，採用範圍持續擴大。

重點整理

在設備內產生光、整形光並導引至所需位置的零組件群
高壓汞燈作為以 i-line 為中心的紫外光源使用
面對燈管照度下降，需要與照度監測連動的曝光量控制
正持續改用瞬間點亮・長壽命的 UV-LED 光源

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