超音波・メガソニック振動子メーカー2社
超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。数十kHzの超音波洗浄がキャビテーション気泡の激しい崩壊を利用するのに対し、0.8〜2MHz帯のメガソニックは音響流による穏やかな作用が主体で、微細パターンを倒さずに粒子だけを剥がせます。周波数・投入パワー・液中の溶存ガス量で洗浄力とダメージのバランスが決まり、パターン倒壊限界の見極めが実務上の勘所になります。
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主要特徴
洗浄液に高周波音波を与え物理力でパーティクルを剥離させる
MHz帯のメガソニックは音響流主体でパターンを倒しにくい
周波数・パワー・溶存ガス量で洗浄力とダメージが決まる
微細パターンでは倒壊限界の見極めが実務上の勘所になる
メーカー
2社の主要メーカー
本多電子日本
超音波応用製品の専業メーカー。超音波振動子と発振器を自社で開発し、精密洗浄向けの超音波洗浄機やメガソニック振動子を供給する。
超音波機器
超音波洗浄機超音波振動子発振器
応用製品
超音波顕微鏡超音波センサ
- •超音波振動子を自社で設計・製造
- •洗浄から医療・計測まで超音波を横断
日本アレックス日本
1991年創業の超音波機器メーカー。FEM解析に基づく振動子設計から超音波洗浄機・超音波溶着機・ホモジナイザーの製作までを自社で行い、カスタム仕様にも対応する。
超音波洗浄
超音波洗浄機超音波振動子
超音波応用機器
超音波溶着機超音波ホモジナイザー超音波カッター
- •圧電セラミックスから装置までの一貫開発
- •FEM解析による超音波振動子の設計
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