39xx シリーズ

超解像 DUV の広帯域プラズマ光源を使うパターン付きウェーハ検査装置。5 ～ 7nm 以下の先端ロジック・メモリ向け。

39xx シリーズとは

39xx シリーズは、KLA の広帯域プラズマ光源を使うパターン付きウェーハ欠陥検査装置です。超解像の深紫外（SR-DUV）波長帯、低ノイズセンサー、先進のアルゴリズムで、ロジックとメモリの重要欠陥を見つけます。

最新の 3935 と 3920 EP は 5nm 以下のロジックと最先端メモリのノードに対応し、ウェーハレベルの欠陥発見、歩留まり学習、インラインモニタを支えます。3935 はレシピ設定を拡張する Setup 2.0 や、光学検査機と電子ビームレビュー装置を連携させて低コントラスト層の感度を高める DualSENS を備えます。3920 EP は 3D NAND と DRAM 向けのアルゴリズムと分類機能を持ちます。

機械学習を使う iDO 3.0 などでニューサンス欠陥を抑え、MCATx などの検出アルゴリズムで重要欠陥を捉えます。インラインモニタに使えるスループットと感度を両立し、欠陥発見、ホットスポット発見、EUV プリントチェック、プロセスウィンドウの探索に使われます。

主な特長

•広帯域プラズマ光源・SR-DUV 波長帯
•3935／3920 EP は 5nm 以下ロジック・最先端メモリに対応
•iDO 3.0 によるニューサンス抑制、MCATx 検出アルゴリズム
•DualSENS で電子ビームレビューと連携

主な仕様

検査方式	明視野（広帯域プラズマ・超解像 DUV）
対象工程	前工程（先端ロジック・DRAM・3D NAND）
関連機種	29xx シリーズ
主要用途	10 nm 未満の欠陥検出・EUV 確率的欠陥の発見

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLA39xx シリーズ	日立ハイテクDI2800	Onto InnovationDragonfly® G3	CamtekEagle G5
検査方式	明視野（広帯域プラズマ・超解像 DUV）	暗視野	2D／3D 光学検査（IR 内部欠陥検査）	明視野 0.5 µm／暗視野 0.3 µm の表面欠陥検査＋3D 計測
対象工程	前工程（先端ロジック・DRAM・3D NAND）	200 mm 以下のパターン付きウェーハ	先端パッケージ・特殊デバイス	先端パッケージ（HPC・CIS・SiC）
主要用途	10 nm 未満の欠陥検出・EUV 確率的欠陥の発見	IoT・車載デバイスの全数検査	1 µm に迫る RDL・HBM 向けの検査	マルチ RDL・FOWLP・2.5D の検査
特徴	—	0.1 µm 感度・40 枚／時以上	—	スループット 2 倍・多層 RDL を 1.4 µm L/S まで検査