Archer™ 750

波長可変光源を持つ KLA のイメージング方式オーバーレイ計測装置。7nm 以下のロジックと先端メモリの重ね合わせ誤差を計測する。

Archer 750とは

Archer 750 は、KLA のイメージング方式オーバーレイ（重ね合わせ）計測装置です。下の層と上の層のパターンが正しく重なっているかを、専用のターゲットパターンを撮像して測ります。波長可変の光源を持ち、7nm 以下のロジックと先端メモリのノードで、正確でプロセスに強く生産性の高い計測を行います。

オーバーレイ誤差の計測結果は露光装置にフィードバックされ、次のウェーハの露光補正に使われます。マルチパターニングや EUV の導入で許容される重ね合わせ誤差は数 nm まで小さくなっており、計測の精度とサンプリング数の両方が求められます。

KLA の Archer シリーズには、後継の Archer 800（層ごとに波長を最適化し、rAIM ターゲットで実デバイスとの相関を高めた）、10nm 以下向けの Archer 600 などがあり、散乱計測方式の ATL100 や、パワー・特殊デバイス向けの Archer Power もそろえています。

主な特長

•イメージング方式のオーバーレイ計測
•波長可変光源
•7nm 以下ロジック・先端メモリに対応

主な仕様

測定方式	イメージングベース・オーバーレイ計測
対象世代	7nm 以下ロジック・先端メモリ
特徴	波長可変光源
関連機種	Archer 800（後継）・ATL100（散乱計測方式）

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。