Versys Metal的特點與規格

Versys Metal 是科林研發（Lam Research）的金屬蝕刻產品系列。金屬蝕刻是形成連接積體電路元件之導線與電氣連接的步驟，也用於形成先進元件導線所需之複雜金屬硬遮罩（MHM）的圖案化。

BEOL 的金屬蝕刻課題在於具重複性的輪廓與 CD 控制，以及大量生產下的低成本。金屬硬遮罩可提高對 Low-k 膜的選擇比、有助於 BEOL 整合，但也帶來溝槽尺寸與線條底部粗糙度控制等新課題。

Versys Metal 以對稱的腔體設計與獨立的製程調整功能提高 CD・輪廓均勻性，並以獨家的腔體清潔技術實現高稼動率、良率與再現性。透過升級可用於多個元件世代。