最後更新:2026年10月23日金屬蝕刻機

Producer Selectra Mo Etch的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・金屬蝕刻機

應用材料(Applied Materials)用於分離 3D NAND 鉬(Mo)字元線的選擇性金屬乾式蝕刻設備,可取代傳統的濕式蝕刻。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Producer Selectra Mo Etch 是應用材料(Applied Materials)的選擇性金屬蝕刻設備。隨著 3D NAND 堆疊層數增加,分離字元線的鉬(Mo)等新型金屬整合步驟,正逐漸超越傳統圖案化手法的極限。

在深寬比大且形狀受限的結構中,以濕式蝕刻由上到下均勻去除材料十分困難,變異與負載效應會損及性能。Selectra Mo Etch 透過受控的製程與先進的氣體供應,在高深寬比結構內實現優異的頂部・底部負載特性與形狀控制。

以選擇性乾式蝕刻提升晶圓全面的均勻性與再現性。已在量產中驗證,正推動取代傳統的濕式製程。這是將 Producer 平台的選擇性蝕刻技術 Selectra 從絕緣膜・矽擴展到金屬的產品。

主要規格

方式選擇性乾式蝕刻(Producer 平台)
對象鉬(Mo)
主要用途3D NAND 的 Mo 字元線分離

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

在高深寬比結構內對 Mo 進行選擇性乾式蝕刻
優異的頂部・底部負載特性與形狀控制
已在量產中驗證,取代濕式製程

主要用途

  • 3D NAND 的鉬字元線分離

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

所屬設備分類

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Producer Selectra Mo Etch