IVS 280 是 Onto Innovation 面向 100～200mm 晶圓的疊對・CD・Z 高度量測設備，專為滿足功率、化合物半導體、MEMS 領域的嚴苛要求而設計。
追求精度、設備引起的偏移（TIS）與產能，平均故障間隔（MTBF）超過 2,000 小時。也對應符合 SEMI 標準的天車搬送。
化合物半導體製程重視彈性，可處理 Si、SiC、石英、玻璃、GaAs、GaN、LiNbO₃ 等各種尺寸・厚度・組成的晶圓。配方執行中不需操作人員協助，變更晶圓尺寸也不需變更硬體。
IVS 280的特點與規格
Onto Innovation・疊對量測設備
面向 100～200mm 晶圓的疊對・CD・Z 高度量測設備，面向功率・化合物・MEMS。
產品概要
主要規格
| 對應晶圓尺寸 | 100～200 mm |
|---|---|
| 對應基板 | Si・SiC・石英・玻璃・GaAs・GaN・LiNbO₃ |
| 可靠度 | MTBF 超過 2,000 小時 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
對應 100～200mm
對應多樣化合物晶圓
MTBF 超過 2,000 小時
主要用途
- 功率・化合物・MEMS 的疊對量測
製造商
Onto Innovation（總部：美國）