SS-3200 是 SCREEN 的旋轉刷洗機（刷洗式單晶圓清洗設備），適用 300mm 晶圓。
搭載噴霧清洗系統「NanosprayÅ」，清洗時不損傷微細圖案。具有最多 8 個腔體的處理單元，以最先進的傳送機構與獨家演算法，每小時最多處理 800 片，約為前一代機型 SS-3100 的 2 倍。
佔地面積與舊機型大致相同，透過零件選用與微粒對策提高潔淨度，可因應次世代製程。
旋轉刷洗機 SS-3200的特點與規格
SCREEN（斯庫林）・晶圓刷洗機
全球導入超過500台的刷洗式單晶圓清洗設備。處理能力較前一代機型 SS-3100 提高近一倍。
產品概要
主要規格
| 清洗方式 | 刷洗＋奈米噴霧（二流體） |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm（200 mm 版為 SS-3200 for 200mm） |
| 配置 | 最多 8 個腔體・最多 800 片／小時 |
| 主要用途 | 微細圖案的無損傷物理清洗 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以 Nanospray Å 進行無損傷清洗
最多 8 個腔體・每小時最多 800 片
產能約為前一代機型的 2 倍
主要用途
- 微細圖案的物理清洗
- 300mm 晶圓的微粒去除
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣迪恩士半導體科技（SCREEN SPE Taiwan）（新竹）：1990 年成立的台灣子公司
- 服務據點（林口・台中・台南）：就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠