最後更新:2026年10月23日晶圓刷洗機

SS-80EX的特點與規格

SCREEN(斯庫林)・晶圓刷洗機

延續 SS 系列穩定性的旋轉刷洗機。每小時最多 160 片,旋轉頭 2~6 組。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

SS-80EX 是 SCREEN 的旋轉刷洗機。延續實績豐富的 SS 系列的穩定性與可靠度,並進一步強化功能。

可進行每小時最多 160 片(為該公司現行機型的 111%)的高速處理。更新控制系統,並搭載可直覺操作的專用畫面。

以獨家的「腔體分離設計」,在其他腔體運轉時也能對停止中的腔體更換刷子與夾銷、清潔杯體,大幅減少停機時間。可搭載 6 種清洗工具,其中晶邊清洗對提升良率特別有效。旋轉頭可搭載 2 組到最多 6 組。

主要規格

處理能力每小時最多 160 片(為現行機型的 111%)
配置旋轉頭 2~6 組
特點腔體分離設計・6 種清洗工具

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

每小時最多 160 片
腔體分離設計
6 種清洗工具
旋轉頭 2~6 組

主要用途

  • 晶圓的刷洗・晶邊清洗

製造商與在台據點

在台據點
  • 台灣迪恩士半導體科技(SCREEN SPE Taiwan)(新竹):1990 年成立的台灣子公司
  • 服務據點(林口・台中・台南):就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠

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資料來源

  1. SCREEN(斯庫林)官方產品頁面:SCREEN SS-80EX