最後更新:2026年10月23日晶圓刷洗機

SS-3300S的特點與規格

SCREEN(斯庫林)・晶圓刷洗機

刷洗式設備中首款最多搭載 16 個腔體、每小時最多處理 1,000 片的旋轉刷洗機。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

SS-3300S 是 SCREEN 的旋轉刷洗機。採用刷洗式設備中業界首見(截至2020年12月,該公司調查)、最多可搭載 16 個腔體的新平台。

以新的雙傳送系統大幅提高每單位設備面積的產量,實現業界最高等級、每小時最多 1,000 片的處理能力。與並排 2 台 8 腔體的 SS-3200 相比,佔地面積可減少 27%。

全面更新控制系統,支援設備 IoT 化與設備間連動等智慧工廠化需求。選配的排氣循環系統可將整台設備的排氣量較以往減少 65%。

主要規格

配置最多 16 個腔體・雙傳送
處理能力每小時最多 1,000 片
特點相較 2 台 SS-3200,佔地面積減少 27%

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最多 16 個腔體
每小時最多 1,000 片
佔地面積減少 27%
排氣量減少 65%(選配)

主要用途

  • 晶圓的刷洗清洗

製造商與在台據點

在台據點
  • 台灣迪恩士半導體科技(SCREEN SPE Taiwan)(新竹):1990 年成立的台灣子公司
  • 服務據點(林口・台中・台南):就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠

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資料來源

  1. SCREEN(斯庫林)官方產品頁面:SCREEN SS-3300S