SB-3300的特點與規格

SB-3300 是 SCREEN 的晶圓背面清洗設備。以業界首見（截至2020年12月，該公司調查）的藥液與刷洗同時處理功能，以高清洗能力去除晶圓背面的微粒。

透過精細的噴嘴動作與藥液噴出控制進行控制蝕刻，提高面內均勻性，有助於抑制晶圓翹曲。

以獨家的夾持系統，在消除晶圓邊緣蝕刻殘留的同時，防止藥液回流到元件面。以 4 層堆疊的塔式結構與 16 個腔體，在包含晶圓翻面的背面清洗中具有每小時 700 片的處理能力。