SS-80EXとは
SS-80EX は、SCREEN のスピンスクラバです。豊富な実績を持つ SS シリーズの安定性と信頼性を受け継ぎ、機能をさらに高めました。
最大毎時 160 枚（同社現行機比 111%）の高速処理ができます。制御システムを新しくし、直感的に操作できる専用の画面を搭載しました。
独自の「チャンバ分離設計」で、ほかのチャンバが動いている間も停止中のチャンバのブラシやピンの交換、カップ清掃ができ、停止時間を大きく減らします。6 種類の洗浄ツールを搭載でき、特にベベル洗浄は歩留まりの向上に効果があります。スピンヘッドは 2 基から最大 6 基まで搭載できます。
主な特長
- •最大毎時 160 枚
- •チャンバ分離設計
- •6 種類の洗浄ツール
- •スピンヘッド 2〜6 基
主な仕様
| 処理能力 | 最大毎時 160 枚（現行機比 111%） |
|---|---|
| 構成 | スピンヘッド 2〜6 基 |
| 特徴 | チャンバ分離設計・6 種類の洗浄ツール |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | SCREENホールディングススピンスクラバ SS-3200 | SCREENホールディングスSS-3300S（スピンスクラバ） | SCREENホールディングスSS-80EX（スピンスクラバ） | SCREENホールディングスSB-3300（ウェーハ裏面洗浄装置） | 東京エレクトロン（TEL）NS300Z | 東京エレクトロン（TEL）CELLESTA™ MS2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 構成 | 最大 8 チャンバー・最大 800 枚／時 | 最大 16 チャンバ・デュアル搬送 | スピンヘッド 2〜6 基 | 4 段積みタワー・16 チャンバ | 表面・裏面洗浄に対応 | — |
| 処理能力 | — | 最大毎時 1,000 枚 | 最大毎時 160 枚（現行機比 111%） | 毎時 700 枚（反転処理を含む） | — | — |
| 特徴 | — | SS-3200 2 台比で設置面積 27% 削減 | チャンバ分離設計・6 種類の洗浄ツール | — | — | 両面処理の単位面積あたり生産性が従来比 1.5 倍以上 |
| 洗浄方式 | ブラシスクラブ＋ナノスプレー（2流体） | — | — | — | ブラシ洗浄・2流体スプレー（AS2） | — |
| 対応ウェハ径 | 300 mm（200 mm 版は SS-3200 for 200mm） | — | — | — | 300 mm | — |
| 主要用途 | 微細パターンのダメージレス物理洗浄 | — | — | — | ウェーハ表裏のパーティクル除去 | — |
| 方式 | — | — | — | ブラシ＋薬液の同時処理（ハイブリッド） | — | 物理洗浄（2 流体スプレー・ブラシ）・両面同時処理 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| スループット | — | — | — | — | — | 800 wph |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ウェーハのブラシ洗浄・ベベル洗浄
掲載カテゴリ
SS-80EXは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
SCREENホールディングス
半導体洗浄装置の世界的リーダー。表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術で、ナノレベルの高精度加工を実現。
ウェハスクラバのほかの製品
SCREENホールディングスのほかの製品
DT-3000（SOKUDO DUO）（コータ／デベロッパ）SU-3300（枚葉式洗浄装置）（ウェットエッチング装置）FC-3100（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）SU-3200（枚葉式洗浄装置）（ウェット洗浄装置）LA-3100（フラッシュランプアニール装置）（レーザーアニール装置）SU-3400（レジスト剥離装置（ウェット））スピンスクラバ SS-3200（ウェハスクラバ）WS-620C／WS-820C／WS-820L（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）FC-821L（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）CW-2000（コンパクトウェットステーション）（バッチ洗浄装置）SU-2000（枚葉式洗浄装置）（シングルウェハ洗浄装置）SP-2100（スピンプロセッサ）（ウェットエッチング装置）SS-3300S（スピンスクラバ）（ウェハスクラバ）SB-3300（ウェーハ裏面洗浄装置）（ウェハスクラバ）RF-200EX／RF-300EX（コータ・デベロッパ）（コータ／デベロッパ）SK-60EX／SK-80EX（コータ・デベロッパ）（コータ／デベロッパ）SC-80EX（スプレーコータ）（コータ／デベロッパ）RE-3500（エリプソ式膜厚測定装置）（エリプソメータ）VM-2500／VM-3500（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）VM-1200／VM-1300（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）VM-1020（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）ZI-3600（パターン付きウェーハ外観検査装置）（マクロ検査装置）ZI-2000（パターン付きウェーハ外観検査装置）（マクロ検査装置）DW-3100（直接描画露光装置）（レーザー直接描画装置）DR-8000（自動線幅測定装置）（マスク寸法・平面度測定装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07