CLEAN TRACK LITHIUS Pro DICE的特點與規格

CLEAN TRACK LITHIUS Pro DICE 是東京威力科創支援 300mm 的塗佈顯影機最新機種。負責光阻塗佈、顯影與各種烘烤，與曝光機以線上方式連接使用。

支援含 High-NA 在內的 EUV 製程，可處理 EUV・浸潤式・ArF・KrF・i-line・SOC 各製程。產能為線上 440wph，是系列中最高的數值。搭載缺陷控制技術，並強化了設備資料的收集功能。

LITHIUS 系列是承襲高市占率 CLEAN TRACK ACT 系列技術的產品群，以提升 OEE（整體設備效率）與降低 CoO（持有成本）為核心概念。前一機種 LITHIUS Pro Z 針對 10nm 節點以下，產能為線上 300wph。