NE-550EX 是愛發科（ULVAC）採用有磁場 ICP（ISM：ICP with Static Magnetic field）方式的乾式蝕刻設備。為單片式並標準配備 Load Lock 室，是小型且低價格的研發用機型。
藉由磁場輔助，產生比其他 ICP 方式更低壓、低電子溫度、高密度的電漿，可控制從離子性到自由基性的廣泛蝕刻。以防止沉積物附著於 RF 導入窗的「星形電極」與加熱功能，重視重現性與穩定性。
由於與面向量產線的 uGmni-200E 採用相同腔體，作為開發工具可對應多樣製程。用於加工 LED・LD・VCSEL・高頻・功率等化合物材料、電極與金屬導線，以及鐵電體・貴金屬・磁性膜等難蝕刻材料。