最後更新:2026年10月23日乾式蝕刻設備

Centura Sculpta Pattern-Shaping System的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・乾式蝕刻設備

只在單一方向精密改變晶圓上圖形尺寸的「圖形塑形」設備。可減少 EUV 圖形化的步驟。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Centura Sculpta 是應用材料的圖形化設備。進行一種稱為「圖形塑形」的新處理,只在單一方向精密改變晶圓上已形成圖形的尺寸。

可將以 EUV 曝光製作的圖形朝目標方向延伸或修整,因此能減少以往需多次反覆曝光與蝕刻的複雜圖形化步驟。

設想用於先進邏輯最關鍵的圖形化層,廠商表示在性能・功耗・面積・成本及產品上市時間方面具有優勢。

主要規格

方式圖形塑形(單一方向的尺寸變更)
對象先進邏輯的關鍵圖形化層
效果簡化圖形化步驟

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

單一方向的尺寸變更(圖形塑形)
補足 EUV 圖形化
減少步驟數

主要用途

  • 先進邏輯的關鍵圖形化層
  • 取代 EUV 雙重圖形化

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

所屬設備分類

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Sculpta