Centura Sculpta 是應用材料的圖形化設備。進行一種稱為「圖形塑形」的新處理,只在單一方向精密改變晶圓上已形成圖形的尺寸。
可將以 EUV 曝光製作的圖形朝目標方向延伸或修整,因此能減少以往需多次反覆曝光與蝕刻的複雜圖形化步驟。
設想用於先進邏輯最關鍵的圖形化層,廠商表示在性能・功耗・面積・成本及產品上市時間方面具有優勢。
只在單一方向精密改變晶圓上圖形尺寸的「圖形塑形」設備。可減少 EUV 圖形化的步驟。
Centura Sculpta 是應用材料的圖形化設備。進行一種稱為「圖形塑形」的新處理,只在單一方向精密改變晶圓上已形成圖形的尺寸。
可將以 EUV 曝光製作的圖形朝目標方向延伸或修整,因此能減少以往需多次反覆曝光與蝕刻的複雜圖形化步驟。
設想用於先進邏輯最關鍵的圖形化層,廠商表示在性能・功耗・面積・成本及產品上市時間方面具有優勢。
| 方式 | 圖形塑形(單一方向的尺寸變更) |
|---|---|
| 對象 | 先進邏輯的關鍵圖形化層 |
| 效果 | 簡化圖形化步驟 |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。