用語ウェハ検査装置エキシマレーザー発振器最終更新 2026-10-09Excel・PDF版

非線形光学(第二高調波発生)とは

Nonlinear Optics

非線形光学とは、レーザーのような強い光で物質の応答が光の電界に比例しなくなり、周波数の違う光が生まれるなどの現象を扱う分野です。代表例は2倍の周波数の光を作る第二高調波発生(SHG)です。半導体では、ウェハやマスクの欠陥検査に使う深紫外のレーザー光源や、界面の状態を非破壊で調べる計測に使われています。

目次6項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. よくある質問
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ

定義・解説

非線形光学とは、レーザーのように非常に強い光が物質に入ったとき、物質の応答(分極)が光の電界に比例しなくなることで現れるさまざまな現象を扱う分野です。代表的なのが、入った光の2倍の周波数(半分の波長)の光が出てくる第二高調波発生(SHG)で、波長1,064nmの赤外線レーザーから532nmの緑色の光を作るのがその例です。

ほかにも、2つの光の周波数の和や差の光を作る和周波・差周波発生、1つの光から波長を連続的に変えられる光を作る光パラメトリック発振、光の強さで屈折率が変わるカー効果などがあります。2倍・3倍の高調波を作るには、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、BBO、KTPなどの非線形光学結晶が使われます。

半導体の分野では、まず検査用の光源で重要です。ウェハやマスクの欠陥検査には、短い波長の光ほど小さな欠陥が見えるため、固体レーザーの光を非線形光学結晶で4倍・5倍の高調波に変換した266nmや213nm、193nmの深紫外光が使われます。また、界面だけから発生する第二高調波を使って、シリコンと酸化膜の界面の電荷や欠陥を非破壊で調べる計測技術もあります。光通信やシリコンフォトニクスでは、薄膜のニオブ酸リチウムを使った高速の光変調器が注目されています。

図解

第二高調波・第四高調波で検査用の深紫外光を作る流れ
界面だけから出る第二高調波は、シリコンと酸化膜の界面の計測にも使われる。

よくある質問(FAQ)

第二高調波発生(SHG)とは何ですか?
強い光が非線形光学結晶を通るとき、入った光の2倍の周波数、つまり半分の波長の光が発生する現象です。波長1,064nmの赤外線レーザーから532nmの緑色の光を作る緑色レーザーポインターが身近な例です。繰り返し使うと、さらに短い紫外の光も作れます。
半導体の検査で非線形光学が必要なのはなぜですか?
小さな欠陥を見つけるには波長の短い光が必要ですが、深紫外の波長を直接出せる使いやすいレーザーは限られます。そこで、扱いやすい固体レーザーの光を非線形光学結晶で4倍・5倍の高調波に変換し、266nmや213nmなどの深紫外光を作って検査装置の光源にしています。

設備の製造メーカー

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